ویژگی های فرآیند اچینگ ایده آل

فرآیند اچینگ ایده آل باید ویژگی های کلیدی زیر را برای برآورده کردن نیازهای با دقت بالا تولید نیمه هادی و سایر زمینه های پردازش میکرو نانو داشته باشد:

itcying ناهمسانگرد ، که فقط به معنای اچ عمودی بدون حفاری جانبی . فقط از این طریق می توانیم تکرار دقیق اشکال هندسی یکسان با آنهایی که در مقابل فیلم اچ شده مقاومت می کنند ، اطمینان حاصل کنیم.
② انتخاب اچ خوب به این معنی است که میزان اچ مقاومت در برابر مقاومت به عنوان ماسک و فیلم یا مواد نازک زیرین بسیار پایین تر از فیلم نازک اچ شده است ، تا از اثربخشی ماسک مقاومت در طی فرآیند اچینگ اطمینان حاصل شود و از آسیب دیدن سایر مواد زیر فیلم نازک به دلیل بیش از حد استفاده شود.
③ دسته های پردازش بزرگ ، کنترل آسان ، کم هزینه ، حداقل آلودگی محیط زیست ، مناسب برای تولید صنعتی {{0}